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gistrer les accélérations dues célération, alors ce que l’on Voici quelques liens déve-
aux vibrations produites. nomme la masse sismique loppant des activités péda-
(vidéo 2) va se déplacer également et gogiques et ludiques en
produire une variation de rapport avec les MEMS :
Culture scientifique…le capacité électrique.
principe physique de l’ac- Concrètement, le capteur https://eduscol.education.fr/sti/si-
céléromètre MEMS . est réalisé à la surface d’une ens-cachan/ressources_pedago-
giques/les-technologies-mems
Ces liens illustrent le fonc- tranche de silicium (« wafer
tionnement d’un accéléro- ») à l’aide de techniques spé-
https://www.cea.fr/multimedia/Li
mètre MEMS, par exemple cifiques, tels la photolitho-
sts/StaticFiles/animations/no-
celui placé dans un air bag graphie et le micro-usinage flash/technologies/fonctionne-
de voiture. Elles montrent de couches minces. Après ment-airbag.mp4,
le composant actif du cap- réalisation, on observe par
teur que l’on pourrait appe- microscopie électronique Et ci-contre l’application
ler un peigne capacitif, que la surface du composant pour votre smartphone qui
puisqu’il ressemble à un présente des microstruc- va vous permettre de mesu-
peigne, et oui. La notion de tures en silicium telles des rer la luminosité, l’accéléra-
capacité en électricité est micropoutres, des micro-la- tion, le son, gratuitement ...
aussi illustrée très simple- melles, etc... (photo 7)
ment. Finalement lorsque le
capteur est soumis à une ac-
Photo 7 : Picture of a single axis capacitive MEMS ac-
celerometer provided by Robert Bosch GmbH
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